引入真空室的氣體在壓力環(huán)境下不會電離, 在充入氣體電離產生等離子體之前必須達到真空環(huán)境。

   真空環(huán)境允許我們控制真空室中氣體種類，控制真空室中氣體種類對等離子處理體過程的可重復性是至關重要的。

   單一氣體或者混合氣體被引入密封的低壓真空等離子體室。隨后這些氣體被兩個電極板之間產生的射頻（RF）激（ji)活(huo)，這些氣體中被激（ji)活(huo)的離子加速,開始震動。這種振動“用力擦洗”需要清洗材料表面的污染物。

   等離子體清洗是利用用一個叫做等離子體的電離氣體去除材料表面所有有機物的過程，通常是在真空室中利用氧氣和氬氣進行。清洗過程是一個環(huán)境安全的過程,不使用有毒害的化學物質。

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   東莞市恒芯半導體設備有限公司，坐落于“世界工廠”之稱的粵港澳大灣區(qū)，是一家集研發(fā)設計、生產 制造、銷售服務為一體的專業(yè)化等離子技術應用基地企業(yè)。 公司主打：離線及在線式真空/大氣等離子清洗設備、水滴角測試儀等產品，配套研發(fā)等離子電源、氣體 質量流量計等配件。產品廣泛應用于微電子、半導體、新能源、3C電子、航空、汽車、包裝印刷、生物 醫(yī)療、新型復合材料等行業(yè)，以及科研所和高校的實驗項目。大家有任何等離子清洗機的需求隨時聯系我們，我們隨時為您服務。